標(biāo)題：荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列

主要產(chǎn)品

SparkNano的主要產(chǎn)品包括空間原子層沉積系統(tǒng)，具體有：

SparkNano LabLine™

SparkNano Omega™

SparkNano Vellum™

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹：

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列

產(chǎn)品介紹

SparkNano LabLine™是一種用于研究和開發(fā)的空間原子層沉積系統(tǒng)，支持多種基板類型和工藝過程。系統(tǒng)采用空間原子層沉積技術(shù)，通過將前驅(qū)體和共反應(yīng)物在空間上分離，實(shí)現(xiàn)薄膜的逐層沉積。

技術(shù)參數(shù)包括：

基板類型：平面和多孔基板，如晶圓、玻璃、金屬和聚合物箔

前驅(qū)體和共反應(yīng)物：標(biāo)準(zhǔn)配置最多四個(gè)前驅(qū)體連接，共反應(yīng)物包括H?O，可選等離子體（如O?、H?、O?）

樣品面積：最大420 mm x 300 mm

沉積溫度：熱S-ALD為50°C–250°C，等離子體增強(qiáng)S-ALD為50°C–200°C

基板加載：手動(dòng)，通過兩個(gè)前室（一小一大）

系統(tǒng)尺寸：4.0米（寬）x 3.6米（深）x 2.1米（高）

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列優(yōu)勢特點(diǎn)

? 系統(tǒng)具有較高的沉積速度，適應(yīng)快速研發(fā)需求。

? 可處理多種基板類型，包括平面和多孔材料。

? 系統(tǒng)配置靈活，支持多種前驅(qū)體和共反應(yīng)物選項(xiàng)。

? 從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)的過渡較為順暢，支持規(guī)?；瘮U(kuò)展。

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列主要應(yīng)用：

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列

太陽能電池

氫能技術(shù)

顯示器件

電池制造